碳化硅单晶片直径测试方法 |
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| 标准编号：gb/t 30866-2014 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：20.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。
本标准适用于碳化硅单晶片直径的测量。 |
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| 英文名称： |
test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers |
 中标分类： |
冶金>>半金属与半导体材料>> |
| ics分类： |
>> |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2014-07-24 |
| 实施日期： |
2015-02-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(sac/tc203)及材料分技术委员会 |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(sac/tc203)及材料分技术委员会 |
| 起草单位： |
中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院 |
| 起草人： |
丁丽、周智慧、蔺娴、郝建民、何秀坤、刘筠、冯亚彬、裴会川 |
| 页数： |
8页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2015-02-01 |
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本标准按照 gb/t1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(sac/tc203)及材料分技术委员会(sac/tc203/sc2)共同提出并归口。
本标准起草单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院。
本标准主要起草人:丁丽、周智慧、蔺娴、郝建民、何秀坤、刘筠、冯亚彬、裴会川。 |
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客服中心 |
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